Imec запустит новый EUV-сканер для чипов нового поколения

Бельгийский исследовательский центр Imec сообщил о приобретении новейшего EUV-сканера TWINSCAN EXE:5200 от компании ASML, который оснащён числовой апертурой 0,55. Эта установка обеспечит высокое разрешение и эффективность при поизводстве полупроводниковых структур, что будет способствовать устойчивому спросу со стороны производителей чипов. Сканер превзойдёт существующие EUV-системы с NA 0,33, предоставляя увеличенную производительность и стабильность процессов.

Установка будет размещена в чистой комнате Imec и станет ключевым элементом пилотной линии NanoIC, нацеленной на разработку технологий производства чипов с техпроцессом менее 2 нм. Успешное внедрение системы поддерживает лидерство Европы в глобальной экосистеме полупроводников. Imec и ASML ранее достигли рекордов разрешения в совместной лаборатории в Нидерландах.

Полная готовность EXE:5200 запланирована на четвёртый квартал 2026 года, что обеспечит доступ к технологиям нового поколения для ведущих производителей чипов. Это имеет стратегическое значение для развития энергоэффективных AI-ускорителей и высокоплотной памяти. Роль Imec как ключевого игрока в индустрии подтверждается поддержкой ЕС и партнёрством с ASML.